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特種氣體系統吹掃氣體的設置應符合下列規定 :
1 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統的吹掃氣體應與獨立的氣源連接，不得與公用氣源或工藝氣源系統相連 ;
2 不相容性特種氣體系統的吹掃氣體不得共用同一氣源 ;
3 吹掃氣體管線應設置止回閥。
吹掃氮氣的氣體面板應設有壓力調節閥、排氣管 、高低壓截止閥、高低壓壓力指示裝置、安全閥。
特種氣體系統的輔助抽真空裝置的設置應符合下列規定 :
1 真空發生器宜采用氮氣作為引射氣源;
2 抽真空用氮氣可由公用普通氮氣供給;自燃性和腐蝕性氣體 ，氮氣供應管道應設置止回閥和微漏閥。
特種氣體排氣與廢氣處理的設置應符合下列規定 :
1 特種氣體系統的排氣管應設置氮氣稀釋與連續吹掃裝置 ;
2 自燃性 、易燃性 、毒性 、腐蝕性特種氣體的排空氣體應經過尾氣處理裝置處理，處理后的氣體應符合現行國家廢氣排放要求 。
特種氣體尾氣處理裝置的設置應符合下列規定 :
1 尾氣處理裝置的類型 ，應根據所處理的排氣中特種氣體的特性進行選擇 ，不相容特種氣體應分別設置尾氣處理裝置 ;
2尾氣處理裝置應靠近特種氣體柜 、氣瓶架等特種氣體設備布置;
3特種氣體的尾氣處理方法宜采用干式吸附 、濕式洗滌 、加熱分解 、燃燒 、等離子分解 、稀釋及以上幾種處理方式的組合。
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