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特種氣體配送氣源端設計
1、特種氣體站房
1.1、特種氣體應按照物理化學特性分類存放，特種氣體間的設計應符合下列規定：
1.1.1、特種氣體間應設置排風系統，房間應運行在負壓狀態;
1.1.2、特種氣體間用防火隔墻相互隔離;
1.1.3、易燃易爆特種氣體間應進行防爆設計。
1.2、大宗硅烷系統氣體設備應布置在獨立的開敞式建筑，開敞式建筑應帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面。
1.3、硅烷站內大宗容器之間以及大宗容器與工藝氣體盤之間的距離小于9m時，應設置2h以上的防火隔斷。
1.4、硅烷系統氣體設備不得建在地下室的室內。
1.5、劇毒性特種氣體供應間應配置專用容器或堵漏工具、排風裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態下的排風處理裝置。
1.6、劇毒性特種氣體供應間應設置雙鎖安全門、防盜窗和防止人員入侵的技防設施。
2、特種氣體工藝系統
2.1、不相容特種氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中;
2.2、液態氣體鋼瓶加熱應配置溫控系統，鋼瓶表面溫度應滿足安全要求。
2.3、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源連接，并設置止回閥，不相容性特種氣體系統的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源。
2.4、不相容特種氣體排氣管道不得接入同一排氣系統;
2.5、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣必須經過尾氣處理裝置處理或排入安全位置。
2.6、氣瓶柜閉門時應保持負壓，柜內的負壓和排風換氣次數應保證泄漏的特種氣體不得進入室內。
2.7、自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體氣瓶柜和閥門箱應在排風出口設置固定式氣體泄漏探測器。
2.8、硅烷鋼瓶側連接管道應設置常閉式緊急切斷閥，硅烷站的安全出口應設置手動緊急切斷按鈕。
3、特種氣體管道輸送系統
3.1、生產廠房潔凈室內的易燃性和毒性特種氣體管道應明敷，并采用焊接。穿過生產區墻壁與樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采用密封措施。
3.2、易燃性、氧化性特種氣體管道，應設置防靜電接地。
3.3、特種氣體管道必須進行管道標識。
4、生命安全系統
4.1、應用多種特種氣體的生產廠房應設特種氣體管理系統，系統應實現特種氣體的連續檢測、指示、報警的功能，并應能夠記錄、存儲和打印。
4.2、儲存、輸送、使用特種氣體的下列區域或場所應設置特種氣體泄漏探測裝置：
4.2.1、自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門箱的排風管口處;
4.2.2、生產工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱及排風管口處;
4.2.3、生產工藝設備的特種氣體的廢氣處理設備排風口處;
4.2.4、惰性氣體間可能產生窒息的區域;
4.2.5、自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設備間;
4.2.6、其它可能發生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環境。
4.3、自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體檢測裝置報警設定值應符合下列規定：
4.3.1、自燃性、可燃性氣體的一級報警設定值應小于等于25%可燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設定值應小于等于50%可燃性氣體爆炸濃度下限值;
4.3.2、劇毒性、毒性氣體的一級報警設定值應小于等于50%空氣中有害物質的最高允許濃度值-時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)，二級報警設定值應小于等于100%空氣中有害物質的最高允許濃度值-時間加權平均容許濃度(TLV-TWA);
4.3.3、設在惰性氣體間的氧氣探測器，其一級報警設定值應大于等于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級報警設定值應大于等于18%氧氣體積濃度(V/V)。
4.4、硅烷排風管道的氣體泄漏探測器的報警設定值，應等于或小于50 ppm，并與硅烷氣源的自動切斷閥聯鎖。
4.5、特種氣體探測系統確認氣體泄漏時，應自動啟動相應的事故排風裝置，自動關閉相關部位的氣體切斷閥，并應能接受反饋信號;自動啟動泄漏現場的聲光報警裝置，該聲光報警應有別于火災報警裝置，并應啟動應急廣播系統。
4.6、室外大宗硅烷系統的鋼瓶區域內必須設置紫外紅外火焰探測器;室內自燃性氣體輸送系統應采用火焰探測器或感溫探測器，火焰探測器或感溫探測器應與報警系統和自燃性氣體氣源的緊急切斷閥聯動。
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