近年來半導體工業發展快速，而在半導體廠中所使用的制程化學氣體欲具有向導的危險性，任何疏失都有可能造成人員嚴重的傷亡與設備重大的損失，因此采用
半導體實驗室氣路將這些高危險氣體安全地輸送到制程機臺上使用，將是半導體廠安全中重要的考量因素。
一般可區分為大宗氣體和特殊氣體，其中大宗氣體通常是以室外的大型氣站或槽車供應為主；而特殊氣體的部分由于其特性包含易燃性、腐蝕性及毒性等，如果發生泄露可能釀成災禍，因此需要特別注意。
1、半導體實驗室氣路之可燃氣體：
在實驗室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃氣主要就是用于試樣熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤氣沙浴。它的使用場所一般是在試驗臺或者實驗室通風柜中，但是在試驗臺上使用，要保證臺面耐高溫和設計原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃氣體都具有高危險性，進行氣體管路的設計和安裝時要達到國家的要求標準、行業規范，非專業工程師不得隨意改動和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發生。
2、半導體實驗室氣路之高純氣體：
常規咱們在實驗室中接觸到的高純氣體有：氧氣、氮氣、氬氣、空氣、氮氣等，這些高純氣體等級有所不同，也意味著他們的純度不同，可根據實驗要求或者儀器要求來先擇適合的純度級別。它們均存放在高壓氣瓶當中，使用時要進行機械減壓，才能達到實驗所需的壓力值。像乙炔、乙烷、氫氣等都是易燃易爆氣體，一旦泄露對人體和環境有危害，所以對氣瓶的存放有嚴格要求，必須有獨立的存放空間，不得和助燃氣體混放、遠離火源等。當然在使用任何氣體時，都需要輕拿輕放，因為氣瓶中壓力很大，如果不小心磕碰，隨時都會造成危險。投放使用之前檢查好鋼瓶的外觀是否有皮損、嚴重銹跡、閥門是否有泄露，出氣口是否有灰塵雜質，出口頭墊片是否老化，必要時要做好清理和更換。
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