半導(dǎo)體實驗室氣路發(fā)生故障的原因一般可歸納為以下3類：
（2）人為的操作使用過程不當(dāng)引起的故障；
（3）半導(dǎo)體實驗室氣路自身內(nèi)部某些元件質(zhì)量缺陷引起的故障。
1、儀器外部因素不正常引起的設(shè)備故障
這類故障主要由于實驗室環(huán)境溫度、濕度不適宜，供電電壓不穩(wěn)，外部電磁場以及儀器受震動而引起的。在溫度過高、濕度過大、通風(fēng)不良等環(huán)境條件下，設(shè)備運行過程中某些元件會過熱，甚至燒毀，電路板會氧化、遭腐蝕損壞，電路短路以及導(dǎo)電性灰塵吸潮也能夠直接燒壞元件。
2、操作不當(dāng)或麻痹大意引起故障
如果操作者在實驗過程中操作不當(dāng)，致使一些液體流入儀器內(nèi)部的電路板或元件上，會發(fā)生化學(xué)腐蝕和電化學(xué)腐蝕，使儀器受損。有的儀器設(shè)備在開機后須預(yù)熱一段時間方可使用，而有的儀器設(shè)備在開機后須按要求進行調(diào)整、校正參數(shù)才能使用。如果儀器發(fā)生故障前的征兆沒能引起使用者注意，極有可能造成儀器損壞。這些人為操作不當(dāng)出現(xiàn)的故障應(yīng)引起管理者足夠重視。
3、儀器設(shè)備質(zhì)量問題引起的故障
碳膜電位器，多圈電位器或機械零部件因磨損、氧化或接觸不良能夠造成儀器設(shè)備的故障；儀器設(shè)備所使用的元器件性能不佳，例如，半導(dǎo)體器件、集成電路、電阻、電容等性能不穩(wěn)定也會引發(fā)故障；儀器設(shè)備生產(chǎn)廠家制造工藝落后、元器件虛焊、插件接觸不良，也能使儀器在使用過程中因瞬間電流偏高而擊穿元器件，造成短路或開路的故障。
半導(dǎo)體實驗室氣路系統(tǒng)的維護事項有哪些？
1、對庫存、備用或因任務(wù)不足需要封存一段時間的儀器設(shè)備要定期清潔、查點、進行防塵、防銹、防潮等方面的維護。
2、各實驗室必須建立嚴(yán)格的崗位責(zé)任制，半導(dǎo)體實驗室氣路系統(tǒng)根據(jù)所使用儀器設(shè)備的特點和要求，制定相應(yīng)的維護保養(yǎng)措施，并認(rèn)真落實，使儀器設(shè)備的維護保養(yǎng)做到經(jīng)常化、制度化。
3、要加強對實驗技術(shù)人員以及學(xué)生的基本操作訓(xùn)練，使他們熟悉儀器設(shè)備性能特點，掌握基本操作方法，避免因操作不當(dāng)或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設(shè)備使用，要嚴(yán)格執(zhí)行持證上崗的制度，嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。
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